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行業(yè)新聞

超純水在太陽能行業(yè)、硅片切割行業(yè)的應用半導體晶片切割制造用水工藝、半導體芯片清洗

來源:純水設備??????2018-06-24 09:55:38??????點擊:

水處理設備http://www.seoarticles.cn】超純水應用范圍概述:


電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗


電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液


顯像管和陰極射線管生產 配料用純水


純水設備黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水


液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液


晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制


集成電路生產中高純水清洗硅片


二、典型工藝流程


    預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)


      預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(18MΩ.CM)(最新工藝)


      預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(17MΩ.CM) (最新工藝)    


        預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(15MΩ.CM)(最新工藝)


    純水設備處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)


三、達到標準


  顯像管、液晶顯示器用純水水質(經驗數(shù)據(jù))


    集成電路用純水水質


    國家電子級純水標準


    美國SEMI標準


高純水的制備上。純水設備,實驗室純水設備工業(yè)純水設備, 蘇州水處理設備,醫(yī)用GMP純化水設備 醫(yī)用水處理設備。


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